Originariamente intorno al castello doveva trovarsi un fossato, per cui vi si accedeva soltanto tramite un ponte levatoio.
Nel corso dei secoli la proprietà  passò nelle mani di molte famiglie importanti. 
Nel 1130  ne era signore Bonconte di Alviano, dopo di lui la proprietà passò prima al podestà di Todi, poi alla chiesa di Roma.
Nei primi anni del Cinquecento,  era uno dei feudi di Bartolomeo d'Alviano, il quale, essendo anche un valente architetto militare, apportò miglioramenti all'apparato difensivo. Nel 1527 fu devastato dai Lanzichenecchi.
Dopo un lungo periodo di passaggi il feudo di Attigliano, insieme a quello di Alviano e Guardea, andò ad ingrandire il ducato di Castro, del quale ne era signore Pierluigi Farnese, figlio del papa. Accanto al castello, dove già esisteva un piccolo agglomerato abitativo, il Farnese fece costruire il palazzo baronale, purtroppo abbattuto qualche secolo dopo.